CMPN系列濾芯利用獨(dú)特的卷繞設(shè)計(jì),能夠?qū)MP的slurry精準(zhǔn)過濾,高效攔截大顆粒,放行有效顆粒。由外到內(nèi)的梯度結(jié)構(gòu),增加了納污空間,延長濾芯使用壽命。
優(yōu)點(diǎn)特性
低析出
完全由聚丙烯材料構(gòu)成,利用熱粘合技術(shù),不使用粘合劑,極少的溶出物,有效控制溶出物析出。
梯度過濾結(jié)構(gòu)
由外到內(nèi)的梯度設(shè)計(jì),避免了凝結(jié)的slurry過快堵塞濾膜表層,充分利用納污空間。
有效過濾
獨(dú)特的卷繞設(shè)計(jì),能夠?qū)崿F(xiàn)對CMP的slurry精準(zhǔn)過濾。高效攔截大顆粒,放行有效顆粒。
防止纖維脫落
特有的網(wǎng)罩結(jié)構(gòu),防止了濾芯的纖維脫落。
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工作特性
濾材 | 聚丙烯 |
端蓋/中心桿/外殼 | 聚丙烯 |
最高工作溫度 | 80℃ |
最大工作壓差 | 4.0 bar/ 21℃ 2.4 bar/ 80℃ |
流量特性
訂購信息