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CMPA系列拋光液深層過濾濾芯
CMPA系列

CMPA系列濾芯利用獨(dú)特的卷繞設(shè)計(jì),能夠?qū)MP的slurry精準(zhǔn)過濾,高效攔截大顆粒,放行有效顆粒。由外到內(nèi)的梯度結(jié)構(gòu),增加了納污空間,延長濾芯使用壽命。



優(yōu)點(diǎn)特性

  • 低析出

    完全由聚丙烯材料構(gòu)成,利用熱粘合技術(shù),不使用粘合劑,極少的溶出物,有效控制溶出物析出。

     

  • 梯度過濾結(jié)構(gòu)

    由外到內(nèi)的梯度設(shè)計(jì),避免了凝結(jié)的slurry過快堵塞濾膜表層,充分利用納污空間。

 濾芯梯度設(shè)計(jì).jpg

  • 有效過濾

    獨(dú)特的卷繞設(shè)計(jì),能夠?qū)崿F(xiàn)對CMP的slurry精準(zhǔn)過濾。高效攔截大顆粒,放行有效顆粒。


  • 防止纖維脫落

    特有的網(wǎng)罩結(jié)構(gòu),防止了濾芯的纖維脫落。




  • Specifaction
  • Performance
  • Ordering Information

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工作特性


濾材聚丙烯
端蓋/中心桿/外殼聚丙烯
最高工作溫度80℃
最大工作壓差

4.0 bar/ 21

2.4 bar/ 80℃


流量特性

CMPA-流量圖-電子.png

訂購信息

CMPA-電子-選型-cn.jpg

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